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AXYR 三軸一體式精密電動滑臺
| ?型號 | AXYR60-A2PR-ND | AXYR80-A2PR-ND | AXYR120-A2PR-ND |
| AXYR60-A2PL-ND | AXYR80-A2PL-ND | AXYR120-A2PL-ND | |
| 臺面尺寸 | ?60 | ?80 | ?120 |
| 移動行程X軸 | ±7.5mm | ±12mm | ±15mm |
| 移動行程Y軸 | ±7.5mm | ±12mm | ±15mm |
| 移動行程θ軸 | ±8.5° | ±10° | |
| 傳動方式 | 螺桿傳動 | ||
| 軌道XY軸 | 交叉滾柱導引式 | ||
| 軌道θ軸 | 滾珠循環式 | ||
| 滑臺材質/表面處理 | 鋁合金/黑色陽極處理 | ||
| 精度等級 | P:精密型 | ||
| 馬達方向 | R: 右側安裝 / L:左側安裝 | ||
| XY軸解析度(脈沖)Full/Half | 5μm / 2.5μm | ||
| θ軸解析度(脈沖)Full/Half | 0.0056°/0.0028° | 0.0047°/0.0023° | 0.0034°/0.0017° |
| XY軸最高速度(全步級) | 10mm/sec | ||
| θ軸最高速度(全步級) | 8°/sec | ||
| XY軸單向定位精度 | 10μm | ||
| XY軸反復定位精度 | ±1μm | ||
| θ軸單向定位精度 | 0.05° | ||
| θ軸反復定位精度 | ±0.01° | ||
| 荷重 | 6kgf | 10kgf | 25kgf |
| XY軸空轉 | 2μm | ||
| θ軸空轉 | 0.01° | ||
| 平行度 | 20μm | 30μm | |
| 運動同心度 | 20μm | ||
| 運動平行度 | 10μm | 15μm | |
| 馬達類型 | 2MS-N28D32A | 2MS-N28D45A | |
| 馬達廠牌 | GMT | ||
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